орення дрібних крапель металу через часткове плавлення катода і можливість потрапляння металевих крапель в обложені плівки. p align="justify"> За допомогою осадження з плазми можна отримувати не просто плівки нанометровій товщини, але плівки, що мають наноструктуру. Фуджіморі і співавтори [G0] повідомили, що багнисті гранульовані плівки Со-А1 Про володіють дуже великим магнетосопротнвленіем незважаючи на їх велику електроопір. Це унікальна властивість було віднесено до гранульованої метал-оксидної мікроструктурі, яка містить металеві наночастинки, впроваджені і матрицю з неметалевих ізолюючого оксиду. Гігантська магнетоопір виникає при наявності сунерпарамагнетізма, тому розмір магнітних частинок у плівці повинен бути дуже малий. Для з'ясування цього в роботі (61 | вивчили мікроструктуру плівок за допомогою електронної мікроскопії високої роздільної здатності та малокутового розсіяння рентгенівських променів. Тонкі гранульовані плівки сплавів системи Зі А1 О, обложені на скляну підкладку, були отримані методом реактивного розпилення в атмосфері Ar -1 С) 2 з використанням мішені зі сплаву C072AI28. Концентрація кисню у плівках змінювалася від 0 до 47 ат.% За допомогою контролю парціального тиску О2 в газовій суміші для реактивного розпилення. Дослідження показало, що гігантське магнетоопір в плівці з'являється, коли частки Зі повністю оточені аморфним оксидом алюмінію. Мікроструктура гранульованих плівок Cool AI26O1.4 і С052Л120О28 показана на рис. 5 Більш світлі ділянки являють собою аморфний оксид алюмінію, а темні ділянки відповідають металевим частинкам розміром 2 Березня нм. У плівках С052AI20O28 металеві частинки складаються з чистого кобальту Со з ГПУ чи ГЦК структурою. У плівках Со (і AI20O13, що містять більше алюмінію, металеві частинки являють собою фазу СоА1 зі структурою типу CsCl. Значення гігантського магнітоопору дуже сильно міняється залежно від вмісту кисню в плівці і є максимальним, коли середня відстань між металевими наночастинками мінімально. Таким чином, регулюючи умови осадження і, зокрема, вміст кисню в газовій суміші Аг + О2, можна змінювати мікроструктуру і властивості плівок Со-А1-О.
В
а) б)
Малюнок 5-Електронна мікроскопії високого дозволу (HREM) плівок Co61Al26O13 (а) і Со52Al20028 (б)
Різновидом осадження з плазми є магнетронне розпорошення, яке дозволяє використовувати катоди не тільки з металів і сплавів, а й з різних сполук, і знижувати температуру підкладки на 100-200 К і нижче. Це розширює можливості отримання аморфних і нанокристалічних плівок. Однак ступінь іонізації, кінетична енергія іонів і швидкість осадження при магнетронном розпиленні нижче, ніж при використанні плазми електродугового розряду. p align="justify"> За допомогою магнетронного розпилення мішені Nio, 75Alo, 25 11 осадження металевих парів на амо...
