му напівпровідникові ІМС є одним з основних напрямів розвитку мікроелектроніки, оскільки вони дозволяють створювати надійні, порівняно дешеві і досить складні у функціональному відношенні мікроелектронні пристрої малих розмірів [1].
Список використаних джерел
1. Макарчук, М.В. Фізика напівпровідників і діелектриків: методичні вказівки на виконання курсової роботи/М.В. Макарчук. Тамбов: ТДТУ, 2009. p align="justify">. Бобровський, С.А. Електронні, квантові прилади і мікроелектроніка: навч. посібник для вузів/Ю.Л. Бобровський, С.А. Корнілов, І.А. Кратилі; під ред. Н.Д. Федорова. М.: Радіо і зв'язок, 1998. p align="justify">. Петров, К.С. Радіоматеріали, радіокомпоненти і електроніка: навч. посібник/К.С. Петров. СПб.: Питер, 2006. p align="justify">. Березін, А.С. Технологія та конструювання інтегральних мікросхем: навч. посібник/А.С. Березін, О.Р. Мочалкіна. М.: Радіо і зв'язок, 1983. br/>
