діагоналі тензомоста; коду, пропорційного температурі чутливого елемента (повного опору тензомоста); коду, пропорційного швидкості зміни температури чутливого елемента. Отриманий графік з додатковою корекцією динамічного впливу температури з урахуванням швидкості зміни температури датчика суміщений з графіком тиску отриманому при Градуювальне експерименті. Для наочності на малюнку 4.3 представлений фрагмент експерименту, де температура різко змінювалася від 30 0С до 80 0С і назад.
На малюнку видно, що динамічна складова температурної похибки завдяки врахуванню швидкості зміни температури практично усунена, що підтверджує ефективність використання трьох факторів, що впливають при складанні математичної моделі вимірювального перетворювача.
Малюнок 4.3 - Корекція результатів вимірювання тиску при впливі теплових ударів
На підставі теоретичних і експериментальних досліджень отримані наступні результати:
встановлені причини виникнення додаткової динамічної температурної похибки інтегральних перетворювачів тиску;
запропонований алгоритм усунення додаткової динамічної температурної похибки;
знайдено спосіб градуювання інтелектуального датчика тиску з мінімальними тимчасовими витратами;
методами регресійного аналізу отримано математичну модель перетворювача тиску, що дозволяє усунути динамічний вплив температури.
ВИСНОВОК
У даній роботі вирішувалося завдання усунення динамічної температурної похибки при впливі на чутливий елемент датчика теплових ударів. Інструментами регресійного аналізу за допомогою методу найменших квадратів знайдена математична модель інтегрального тензопреобразователя тиску, що враховує швидкість зміни температури чутливого елемента, за допомогою якої з'явилася можливість усунути динамічний вплив температури. Запропоновано методику проведення повного факторного градуювального експерименту.
Крім того більш докладно вивчений метод обробки результатів спостережень - регресійний аналіз, причому з упором на практичне застосування для апроксимації таблічнозаданних експериментальних функцій багатофакторними поліномами регресії.
Запропонований алгоритм корекції динамічної температурної похибки може використовуватися в цифрових перетворювачах тиску, схильних теплових ударів.
Зроблено черговий крок на шляху до підвищення точності вимірювань інтелектуальних датчиків тиску. Перевагою нововведення є те, що воно не вимагає внесення конструктивних змін у випущені датчики тиску, а дозволяє обійтися лише оновленням керуючої програми обчислювального мікроконтролера.
СПИСОК ВИКОРИСТАНИХ ДЖЕРЕЛ
1 Ісакович, Р.Я. Технологічні вимірювання і прилади. Изд. 2-е, перероблене/Р.Я. Ісакович.- М .: Недра, 1979. - 344 с.
Ваганов, В.І. Інтегральні тензопреобразователь/В.І. Ваганов.- М .: Вища школа, 1983. - 137 с.
Папков, В.С. Епітаксіальні кремнієві шари на діелектричних підкладках і прилади на їх основі/В.С. Папков, М.В. Цибульник.- М .: Енергія, 1979. - 88 с.
Стучебніков, В.М. Тензорезисторні перетворювачі на основі гетероепітаксійних структур «кремній на сапфірі»/В.М. Стучебніков//Вимірювання, контроль, автоматизація: Наук.-техн. збірник.- 1982. № 4 (44).- С. 15-26.
Ваганов, В.І. Інтегральний кремнієвий перетворювач тиску з підлаштування резисторами на кристалі/В.І. Ваганов, В.В. Беклемішев, Н.І. Гочарова, А.Б. Носкін//Вимірювальна техніка.- 1980. №5.- С. 28-30.
Черняєв, В.Н. Технологія виробництва інтегральних мікросхем/В.М. Черняєв.- М .: Енергія, 1977. - 375 с.
Мейєр, Дж. Іонне легування напівпровідників/Дж. Мейер, Л. Еріксон, Дж. Девіс/Пер. з англ. під ред. В.Н. Гусєва.- М .: Світ, 1973. - 296 с.
Степаненко, І.П. Основи теорії транзисторів і транзисторних схем/І.П. Степаненко.- М .: Енергія, 1977. - 672 с.
Ваганов, В.І. Вплив конструктивно-топологічних особливостей інтегральних тензопреобразователь на?? ерегрев тензорезістров струмом, що протікає/В.І. Ваганов, А.Б. Носкін, М.В. Фролова/В кн .: Електронна вимірювальна техніка/Под ред. А.Г. Філіппова.- М .: Атомиздат, 1980. - С. 17-22.
Шестаков, А.Л. Алгоритми вибору і обгрунтування моделей функцій перетворення вимірювальних перетворювачів тиску/А.Л. Шестаков, А.П. Лапін, Е.А. Лапіна//Вісник Південно-Уральського державного університету. Серія: Комп'ютерні технології, управління, радіоелектроніка.- 2009. №26.- С. 10-12.
Шестаков, А.Л. Завдання оптиміз...
