"justify"> Для вимірювання товщини використовувався метод сходинки. На зразку бритвою вирізувалася сходинка, після чого за допомогою профілометра марки 130 було вироблено вимірювання товщини тонкопленочного покриття. p align="justify"> Використовуючи дані про товщину, отримані за допомогою профілометра марки 130, були отримані швидкості осадження покриття у випадку використання додаткової магнітної системи і без неї. Швидкості напилення при різних режимах напилювання для різних систем лежать приблизно в одному діапазоні. Це говорить про те, що наявність додаткової магнітної системи і зменшення відстані мішень-підкладка істотно не впливають на швидкості напилення. Однак, для більш точних результатів необхідно провести серію експериментів. Більше того, дуже складно створити ідентичні умови для проведення експериментів. Що стосується зміни відстані мішень-підкладка, то воно впливає на процес осадження тонкопленочного покриття. Це видно з попередніх експериментів. Якщо відстань між мішенню і підкладкою дуже мало (до 10 см), то починається процес реіспаренія. p align="justify"> Далі за допомогою програми, розробленої на кафедрі водневої енергетики і плазмових технологій, були отримані дані про коефіцієнти ерозії поверхні тонкоплівкових покриттів. Було виявлено, що присутня не тільки ефект розпилення поверхні, але також і испарительная компонента, яка домінує при збільшенні щільності потужності, що збільшує значення коефіцієнта ерозії поверхні майже на 2 порядки. p align="justify"> Також виявлена ​​залежність швидкості осадження плівок від ступеня чорноти тигля магнетрона з жідкометалліческім мішенню. Чим менше ступінь чорноти того чи іншого матеріалу, тим вище швидкість росту осаждаемой плівки. br/>
Список використаних джерел
1. Технологія тонких плівок. Т.1./Пер. з англ. Під ред. М.І. Елінсон, Г.Г. Смолко; Під ред. Л. Майселла, Р. Гленга. - М.: 1970. В«Рад. Радіо В», 1977. - 664 с. p align="justify">. В.В. Пєтухов, А.А. Гончаров, В.А. Коновалов, Д.М. Терпи, В.А. Ступак. Вплив режимів розпилення і геометрії розпилювальної системи на товщину і склад одержуваних плівок [Електронний ресурс]. - 2005. - Режим доступу: # "justify">. Бошлакова І. Методи отримання тонкоплівкових структур// нанотехнологіями [Електронний ресурс]. - 2004. - Режим доступу: # "justify">. Б.А. Лапшинов. Нанесення тонких плівок методом вакуумного термічного випаровування [Електронний ресурс]. - 2006. - Режим доступу: # "justify">. Вакуумне напилення [Електронний ресурс]. - Режим доступу: # "justify">. Термічне випаровування// Промисловий журнал [Електронний ресурс]. - Режим доступу: # "justify">. Мінайчев В.Є. Нанесення плівок у вакуумі. Москва Вища школа 1989р. 110с. Книга № 6
. Данілін Б.С., Сирчін В.К., Магнетронниє розпилювальні системи, М., Р. і С., 1982. - С. 72.] [Електронний ресурс]. - Режим доступу: # "justify">. А.А. Соловйов, О.М. Заха...
