ття з інгібіторів, що викликає анізотропію травлення.
Слід зазначити, що вказані механізми травлення не є незалежними. Наприклад, процес хімічного розпилення рівнозначний поєднанню розпилення з розривом зв'язку між атомами (утворенню радіаційних порушень) і видаленню з поверхні інгібітора (шару з продуктів взаємодії). Вимоги до точності перенесення малюнків задовольняються при використанні методів сухого травлення в газовому розряді при низькому тиску (у плазмі), що забезпечують високу анизотропность травлення. Швидкість, селективність і анізотропія травлення визначаються різними параметрами, включаючи склад і тиск робочого газу, температуру підкладки, частоту і щільність потужності прикладеного електричного поля. Ці параметри необхідно суворо контролювати для якісного відтворення процесів травлення.
Поліпшення селективності та контролю профілю травлення стає особливо важливим у міру подальшого зменшення розмірів елементів ІМС.
2.Технологіческій розділ
2.1 Устаткування для виконання процесу
Установка LAM 690 призначена для травлення металевих шарів алюмінію, алюмінієвих сплавів, титану, вольфраму в повністю автоматичному (або ручному) режимі за допомогою мікропроцесорного управління з виведенням даних на дисплей. Зовнішній вигляд установки зображений на малюнку 2.1.
Рисунок 2.1 - Зовнішній вигляд установки LAM690
Установка включає в себе наступні вузли і блоки:
блок живлення;
мікропроцесорна система управління;
подаючий механізм;
вхідний шлюз;
робоча камера;
вихідний шлюз;
приймальний механізм;
ВЧ-генератор;
газова панель;
контролер тиску АС - 2;
панель управління.
Блок живлення-розподіляє постійні та змінні напруги для функціонування системи.
Генератор радіочастоти - це твердотільний генератор з водяним охолодженням і потужністю 650 Вт
Газова панель - в цю панель входять 5 газів, які подаються з певною швидкістю в залежності від заданої програми.
Контролер тиску - автоматично контролює тиск у камері.
Панель управління складається з:
Клавіша (Power ON/OFF) - потрібна для включення і виключення живлення установки.
Клавіша START - призначена для запуску установки в процесі. Клавіша STOP - призначена для припинення процесу.
Клавіша STATUS. При натисканні цієї клавіші на екран викликається сторінка STATUS. На цій сторінці вказується поточний стан параметрів для камери.
Клавіша LOAD - натискання цієї клавіші проводиться в той час, коли в гніздо клавіатури вставлений модуль керуючої програми, викликає завантаження цієї програми в пам'ять ЕОМ. При цьому програма, яка була раніше завантажена, стирається автоматично.
Система переміщення пластин складається з:
1. Подаючий індикатор (відповідає за подачу пластин на стрічковий конвеєр по 1 шт.)
2. Стрічковий конвеєр (відповідає за переміщення пластин в камеру і відповідно з неї.)
3. Подаючий підйомник (призначений для підйому пластини з подаючого конвейєра в позицію.)
4. Вхідний і вихідний шлюзи (виконують роль буферів між середовищем приміщення і робочою камерою. Наявність шлюзів дозволяють постійно підтримувати в робочій камері вакуум.)
5. У робочій камері відбувається безпосередньо травлення.
6. Приймальний підйомник (відповідає за прийом оброблених пластин і опускає їх на приймальний конвеєр.)
7. Приймальний індикатор (відповідає за прийом пластин в касету по 1 шт.)
Пластини обробляються почергово і передаються з подаючої касети в приймальню. Подаючий індикатор завантажує пластини з подаючої касети на стрічковий конвеєр (по одній), конвеєр переміщує пластину на подаючий підйомник. Підйомник піднімає пластину з конвеєра до повітряного шлюзу. Маніпулятор переміщує пластину в шлюз. Коли маніпулятор розташовується в центрі шлюзу, зовнішня засувка закривається і з шлюзу відкачується повітря. Коли тиск у шлюзі досягає встановленої величини, відкривається внутрішня засувка, пластина завантажується в камеру, після цього в камері відбувається змішування газів і відбувається травлення. Далі маніпулятор розміщує пластину на підйомник камери і виходить з неї; внутрішня засувка закривається. Пла...
