терогенна Метастабільний тверде тіло з максимальною дисперсністю нерівноважних обсягів і 2) забезпечити тривалу стабільну роботу всієї схеми в цілому, пригнічуючи її прагнення до гомогенізації-вирівнюванню складу. Розміри активних областей ІС постійно зменшуються, і в даний час намічається перехід в субмікронну область. p align="justify"> Основним технологічним напрямом у мікроелектроніці є виробництво монолітних, тонко-і товстоплівкових ІС, а також мікромініатюрних функціональних дискретних приладів. В основі технології товстих плівок лежить трафаретний печатку і вжигание в керамічний підкладку елементів і провідників, при виготовленні монолітних ІВ використовуються процеси дифузії, епітаксії, окислення та ін, при виготовленні тонкоплівкових мікросхем домінуючими є процеси конденсації з молекулярних пучків у вакуумі. Головні завдання технології мікроелектроніки наступні: створення в мінімальному обсязі (твердого тіла або на його поверхні) максимальної кількості суворо визначених областей з заданими геометрією, складом, структурою, а отже, і властивостями, здатних виконувати певні функції елементів або еквівалентів елементів електронних схем при високій стабільності преобразуемой інформації, малій витраті енергії і високої надійності багаторазового повторення всіх покладених на дану ІС завдань. При цьому звертають увагу на підвищення рентабельності при зниженні витрати матеріалів, на простоту і комплексність технологічного виробництва, максимум виходу придатних виробів при мінімальному застосуванні ручної праці. Тільки максимальна автоматизація може забезпечити подальший розвиток мікроелектроніки. В даний час технологія мікроелектроніки пройшла вже основні стадії свого розвитку і становлення, а якщо врахувати, що широке виробництво ІС і дискретних приладів з використанням прийомів і технологічних процесів мікроелектроніки переступило рубіж 10-12 млрд. шт. на рік, то стає ясним, що ми маємо справу з найбільш масовим сучасним виробництвом вельми складної продукції. При цьому темпи розвитку мікроелектроніки знаходяться поза конкуренцією з будь-якими іншими галузями сучасної промисловості. Це зажадає використання нових матеріалів та їх композицій, а також нових технологічних процесів та їх поєднань. p align="justify"> Вже нині їх різноманіття поза конкуренцією з будь-якої іншої галуззю техніки, тому особливо важливим є систематизація і класифікація процесів з використанням різних принципів, мають фізико-хімічну основу.
.2 Сучасні проблеми і напрямки розвитку мікроелектроніки
Основною тенденцією розвитку мікроелектроніки є підвищення ступеня інтеграції мікросхем. Згідно знаменитому прогнозом, зробленим у 1965 р. і відомому відтоді як закон Мура, умовне число транзисторів у найбільш швидкісних процесорах подвоюється кожні півтора року. Зрозуміло, ця тенденція не може зберігатися вічно, і вже з 90-х років XX в. різні фахівці періодично висловлюють думку про те, що в своєму розвит...
