нечник сферичної форми і знімають відлік по шкалі на екрані оптіметра. Після закінчення полірування повторно вимірюють товщину пари підкладок. Різниця відліків дає спад товщини двох підкладок при поліровці. p align="justify">. Контроль розмірів базового зрізу і його розташування
Контроль розмірів базового зрізу і допоміжного зрізу здійснюють за допомогою лінійки Vogel тип В з ціною поділки 0,5 мм. Підкладку кладуть на поверхню робочого столу лицьовою стороною вгору. До базового і допоміжному зрізу прикладають лінійку і визначають довжину зрізів. p align="justify"> Контроль розташування базового зрізу здійснюють візуально.
. Контроль напрямку + Х на базовому зрізі п'єзоелектричної підкладки
Контроль напрямку + Х здійснюють за допомогою пьезотестера згідно інструкції з експлуатації. Щуп пьезотестера опускають три рази на край підкладки в центрі зрізу (базової або допоміжного залежно від типорозміру підкладки). Індикація на пьезотестере червоної лампочки під знаком "+" означає, що зріз підкладки (базовий або допоміжний залежно від типорозміру підкладки) має вихід напрямку + Х.
. Контроль шорсткості неробочий поверхні підкладки
Контроль шорсткості неробочий поверхні п'єзоелектричної підкладки здійснюють за допомогою портативного вимірювача шорсткості TR 200 згідно інструкції з експлуатації. При вимірі підкладку кладуть на робочий стіл шліфованої стороною вгору і на неї встановлюють голку портативного вимірювача шорсткості. Вимірювання проводять одноразово в будь-якому місці неробочий поверхні підкладки. Показання зчитують з екрану вимірювача. p align="justify">. Контроль розкиду товщини п'єзоелектричної підкладки
.1. Контроль розкиду товщини п'єзоелектричної підкладки проводять за допомогою вимірювальної головки МІГ-1 з ціною поділки 1 мкм, закріпленої на вимірювальній стійці. Вимірювання виконують на підкладці, що лежить на вимірювальній стійці. Вимірюють товщину підкладки в центрі і в чотирьох точках по периметру з відступом 6 мм від краю підкладки так, щоб два виміри були зроблені навпаки базової та допоміжного зрізів. Розкид товщини визначають як максимальну різницю між п'ятьма вимірювання товщини. p align="justify"> .2. Контроль загального розкиду товщини підкладки здійснюють за допомогою інтерферометра LI-10 згідно інструкції з експлуатації. Перед проведенням вимірів п'єзоелектричну підкладку фіксують на вакуумній присосці інтерферометра. LI-10. По зображенню підкладки з інтерференційними кільцями розраховують загальний розкид товщини за формулою
? h = N Г— ? /2, ( 1)
де? h - величина, загального розкиду товщини підкладки;
N - кількість кілець, спостережуваних на підкладці;
? - довжина хвилі монохромного світла (0,632 мкм).
Контроль розкиду товщини на довжині 13,6 мм на п'єзоелектричної підкладці
Контроль розкиду товщини на довжині 13,6 мм здійснюють за допомогою інтерферометра LI-10 згідно інструкції з експлуатації. Локальна зміна товщини на підкладці визначається як різниця між максимальною і мінімальною товщиною підкладки всередині ділянок заданого розміру на робочій поверхні підкладки. Перед вимірюванням розкиду товщини на довжині 13,6 мм п'єзоелектричну підкладку фіксують на вакуумній присосці інтерферометра LI-10. На зображення підкладки з інтерференційними кільцями накладають сітку з кроком 13,6 мм. Для кожної ділянки сітки розраховують розкид товщини за формулою (1). p align="justify">. Контроль вигину п'єзоелектричної підкладки на довжині 20мм
Контроль вигину п'єзоелектричної підкладки здійснюють за допомогою інтерферометра Фізо-100 згідно інструкції з експлуатації. Вигин підкладки визначається як відхилення центру підкладки від фокальній площині, що проходить через три точки опори свободнолежащая підкладки. Вимірювання вигину підкладки здійснюють на заданій довжині з відступом від центру в обидві сторони по 10мм в поздовжньому напрямку. Потім вимірювання повторюють в поперечному напрямку. Вибирають напрям з найбільшою кількістю кілець на довжині 20 мм. Розрахунок вигину підкладки здійснюють за формулою (1). p align="justify">. Контроль кута зрізу п'єзоелектричної підкладки
Контроль кута зрізу п'єзоелектричної підкладки виконують на рентгенівському дифрактометрі DSO-2Р згідно інструкції з експлуатації. Перед вимірюванням кута зрізу підкладку розташовують на столику дифрактометра полірованої стороною вниз. Після запуску програми виконують вимір, результати якого виводяться на екран монітора у вікні редактора WordPad. p align="justify">. Контрол...
