o ) - E 1 (j a k 2 )]}, (2)
де j n , o - щільність потоку фрагментів у поверхні мішені; E 1 (х) - інтегральна показова функція.
Аналіз (1) і (2) показує, що при малих значеннях х обсяг частинок лінійно зростає при збільшенні шляху, пройденого часткою: V до = V o (1 + kх). При х>> О» зростання частки практично припиняється, і її максимальний обсяг становить V до = V o (1 + j n , o /j a ). Відзначимо, що при створенні в камері неоднорідних електричних і магнітних полів, електричних розрядів, фізико-хімічні процеси мають більш складний характер. Спостерігається, зокрема, просторове перерозподіл масових потоків, зміна активності частинок в процесі їх руху.
При утворенні полімерного покриття на поверхні підкладки основними елементарними актами є: адсорбція частинок, хімічну взаємодію їх між собою, теплова десорбція низькомолекулярних фрагментів, іонно-та електронно-стимульована полімеризація, розпорошення покриття в результаті дії на нього частинок потоку. У ряді випадків істотний вплив на швидкість росту покриттів і їх властивості надають хімічно активні низькомолекулярні з'єднання, наприклад, кисневмісні, які можуть не бути продуктами розпилення вихідного полімеру і вводяться в газову фазу для ініціювання полімеризацій процесів [38].
У відповідності з даними уявленнями і основними положеннями хімічної кінетики, теорії теплової десорбції в роботах [38,39] запропоновано моделі, що описують зростання полімерних покриттів в ізотермічних умовах. При визначенні константи швидкості полімеризації фрагментів макромолекул k n у умовах їх теплової та іонно-стимульованої десорбції використані аналітичні співвідношення, отримані при вирішенні завдання зростання часток конденсованої фази при наявності реіспаренія адсорбованих атомів металів [1]. На початкових стадіях процесу, коли радіус взаємодії активної частинки (радикала) з фрагментом R ц <<Х, k n = ПЂD (Х - довжина дифузійного пробігу частинок). На пізніх стадіях, при встановленні рівноважної концентрації адсорбованих частинок
k n = 2 ПЂDПЃ 0 До 1 (ПЃ 0 )/К 0 (ПЃ 0 ),
де: ПЃ 0 = R ц /Х; До 0 і К 1 - модифіковані функції Бесселя другого роду нульового і першого порядку відповідно.
Відзначається, що результати експериментальних досліджень кінетики росту покриттів узгоджуються з висновками запропонованих моделей. Зокрема, пояснено спостережуване в експериментах зниження швидкості росту покриття в процесі його осадження. Якщо ж процес формування полимеризационной фази протікає в умовах іонного травлення, то при певних параметрах осадження зростання покриття не в...
