оефіцієнт використання матеріалу мішені, можливість розпилення різноманітних матеріалів, нанесення плівкових покриттів набольшие площі з мінімальною нерівномірністю по товщині, високу надійність роботи, великий термін служби та ін. Більшість цих вимог задовольняється правильним вибором конструкції магнітної системи і форми мішені.
Малюнок 1.10 - Конструкції магнетронних розпилювальних систем з плоскими мішенями: 1 - мішень; 2 - анод; 3 - магнітна система; 4 - додатковий електрод; 5 - полюсні наконечники.
Типові конструкції магнетронних розпилювальних систем з плоскими мішенями наведено на рис. 1.10. У найпростішому випадку (рис. 2.3, а) система включає в себе магнітний блок, вмонтований у водоохолоджуваний корпус, який є одночасно і власником мішені. Навколо корпусу розташовується анод у вигляді циліндра або мідної трубки з проточною водою, встановленої по периметру мішені поблизу її. Анод зазвичай заземлюється. Для більш повного усунення бомбардування підкладок вторинними електронами катодний блок оточується заземленим екраном, а по периметру мішені і в центрі встановлюються ізольовані аноди, що мають невеликий (до 50 В) позитивний потенціал щодо землі. Аноди перекривають місця входу і виходу силових ліній магнітного поля і уловлюють розсіюється уздовж силових ліній вторинні електрони, залишаючи відкритою тільки ту область мішені, де силові лінії паралельні розпилюється поверхні і швидкість розпилення максимальна (рис. 1.10). Екранування слабо розпилюються ділянок мішені покращує властивості одержуваних плівок.
При виготовленні чутливих до радіаційного впливу приладів доцільно додатково вловлювати летять у бік підкладки іони, які, наприклад, можуть утворитися в результаті іонізації розпилених атомів мішені. У цьому випадку над поверхнею позитивного анода встановлюється додатковий негативний електрод (рис. 2.3, в). На рис. 2.3, г представлена ??конструкція магнетронній розпилювальної системи, що використовує мішень спеціальної форми. Це дозволяє розпорошувати досить товсті мішені. Після розпилення половини матеріалу мішені вона перевертається і виробляється розпорошення решті частини, що забезпечує підвищення коефіцієнта використання матеріалу мішені до 90%.
Одержання високоякісних тонкоплівкових шарів металів, сплавів, діелектриків і напівпровідників є однією з актуальних завдань технології виготовлення різних елементів радіоелектронної апаратури.
3. Аналіз навчальних занять
ПІБ преподавателяБіцоев Геннадій ДадоевічПреподаваемий предмет Сучасні конструкційні матеріали в машинобудуванні Группа12-МТМ - 2 Дата проведення занятія30.10.2013Тема лекцііМеталлізація кераміки ВеО магнетронним напиленіемКолічество присутніх студентів 31. Умови, що визначають результативність навчального заняття: особистісні якості педагога, його професійна компетентностьОткритость, яскрава емоційність, організованість, самоаналіззнаніе вікових та індивідуально-психологічних особливостей обучающіхсяІспользуя у своїй роботі прийоми: - лекція заздалегідь заплановані помилки;- Лекція- дискусія;- Лекція - беседа.образовательний потенціал обучающіхсяК-во навчаються, мають рівень освітніх возможностейВисокій Середній Нізкій21мотівація навчаються до навчання, до освоєння навчальної дисципліни, профессіівисокаясредняянізкая3налічіе сприятливого психологічного мікроклімату на навчальному занятті (стиль спілкування і відносин між суб'єктами освітнього процесу) Заняття проходило в хорошому темпі, в атмосфері доброзичливості і творчого творення, довірливо і позітівнособлюденіе професійної етікіНаблюдалось розуміння, вміння викладача дивитися на ситуацію «очима студента», такт і діпломатічностьматеріально-технічне оснащення навчального занятіяПросторний, світлий клас, збірники, наочні пособіясоблюденіе гігієнічних вимог до навчального заняття Чистий, провентильований кабінет. Достатня освещеніе.уровень організації освітнього процесу в освітньому учрежденііОрганізація заняття була на високому професійному рівні. Викладач продемонстрував вміння цікаво, емоційно, грамотно підвести магістрантів до планованого результату.степень реалізації цілей попередніх навчальних занять, ступінь готовності учнів до занятію.Магістранти були добре підготовлені до заняття. Ясно представлена ??мета роботи, показаний рівень володіння певними навичками 2.Назначеніе даної дисципліни в конкретній навчальній групі, в рамках освоєння професії (спеціальності). Призначення теми в рамках циклу практичного обученіяРоль і місце аналізованого уроку в загальній системі навчальних занять Мета заняття: основи процесу отримання тонких плівок металів на кераміці з використанням магнітної розпилювальної магнітної сістемиПравомерность постановки дидактичних цілей навчального заняття (що повинні знати і вміти, ніж володіти до кінця освоєння теми.).- Знання і розуміння підготовк...
