/p>
При, N=500 отримаємо, а для видимої області, тому межею дозволу буде.
Оцінимо тепер глибину різкого зображення при візуальному і фотоелектричному спостереженні. Як відомо, при візуальному спостереженні загальна глибина різкого зображення складається з трьох складових: геометричній, хвильової та аккомодационной, де
- видиме збільшення мікроскопа,
- кутовий дозвіл очі,
- показник заломлення середовища в площині спостереження (= 1).
Вважаючи, що при візуальному спостереженні збільшення мікроскопа відповідає нормальному Г=500А отримаємо:
[мкм], [мкм], [мкм].
Отже, для = 0,5 мкм отримаємо:
[мкм].
При візуальної реєстрації вхідний і вихідний площин доцільно виключити вплив. Це досягається на практиці тим, що фільєра спостерігається одночасно з різким зображенням сітки. Тоді
[мкм].
При фотоелектричної реєстрації величина зберігається, а значення слід визначати виразом:
де - геометричний межа дозволу в площині ПЗС матриці ().
Для реальних об'єктивів, причому більше значення відповідає більш светосильним об'єктивам. З урахуванням цього отримаємо [мкм]. Загальна глибина різкого зображення при фотоелектричної реєстрації складе:
[мкм].
Тут також прийнято=0,5 мкм.
Для оцінки можна прийняти більше значення отриманого виразу, тобто остаточно для фотоелектричної реєстрації отримаємо:
З викладеного випливає, що для більш точної реєстрації глибини отвору фільєри необхідно, по можливості, використовувати більш світлосильні об'єктиви. Крім того, видно, що фотоелектрична реєстрація глибини отвору має деяким перевагою в порівнянні з візуальною.
Оцінимо похибка фотоелектричного методу визначення глибини отвору для двох значень діаметрів фільєри і. Вважаючи в обох випадках, отримаємо і. Для першого об'єктива числова апертура, для другого. Отже, для першого отвору,; для другого отвору,. Таким чином, похибка вимірювання глибини отвору не перевищує 0,02 мм для діаметра 0,5 мм і 0,001 мм для діаметра 0,05 мм .
Виходячи з викладеного, можна запропонувати наступну схему автоматизованого фотоелектричного контролю отворів фільєри з використанням ПЕОМ. Сутність цієї схеми ілюструється рис. 1,2. Фільєра має можливість горизонтального переміщення по столику в двох взаємно перпендикулярних напрямках (В). Це переміщення здійснюється, наприклад, кроковими двигунами, керованими ПЕОМ. Оскільки положення отворів фільєри відомі, то програмним шляхом можна точно виставити кожен отвір у центр поля зору мікроскопа. Предметний стіл мікроскопа має можливість точного переміщення по глибині (стрілка С). Зміщуючи програмним шляхом столик по стрілці С з кроком, рівним глибині різкості, можна записати ряд дискретних зображень по глибині отвору в ПЕОМ. У кожному з цих зображень різко будуть представлені елементи отвори, що знаходяться всередині відповідної області (рис. 2а). Якщо потім програмним шляхом визначити для кожної з областей необхідний масштаб і послідовно «скласти» на площині всі області так, щоб забезпечувалася безперервність переходу з однієї області в іншу, то отримаємо плоску розгортку циліндричної поверхні отвору (рис. 2в). На рис. 2 показано, як при такому методі на розгортці зображатимутьс...
